职责描述:
后道、光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀、离子注入、蒸发(含溅射、合金化)、CVD(含氧化、炉管)工艺。
1.新工艺的开发,工艺Recipe的新建与优化。
2.工艺设备工艺监控的检测标准制定及工艺参数监控与管理(SPC);产品在各工序的工艺参数监控与管理(SPC)。
3.解决工艺设备的工艺异常;产品出现工艺异常时,配合工艺整合工程师和产品工程师进行调查,并解决异常。
4.新进设备的工艺验收。
5.工艺设备及产品相关的工艺文件的编制。
6.工艺生产使用原材料和辅料的评估、导入及用量统计工作。
领导交代的其它工作。
任职要求:
1.本科及以上相关专业毕业(微电子、半导体、电子、材料、化学等专业)。
2.有5年以上半导体行业,工艺或工艺整合工作经验。
3.熟悉光刻、刻蚀、注入、蒸发(溅射)、CVD等工艺中至少1种。
4.工作认真、负责,品行端正,处事公正,合作系数高。